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干式压缩前级真空泵真空度高、抽速快

发布时间:2022-11-02   点击次数:37次
  干式压缩前级真空泵具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点,因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。
  干式压缩前级真空泵主要用途如下:
  1、低压化学气相堆积中的多晶硅制备工艺中;
  2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  3、将干式真空泵用做一般无油清洁真空体系的前级泵,以避免油污染。
  4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等。
  5、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不期望微粒混入泵油中,而微粒排出泵外,则用必定型式的干式真空泵可以满足要求。
  干式压缩前级真空泵的使用优势有:
  一、真空度高、抽速快,可以单机从大气压下直接启动抽至1Pa左右的极限真空,并且在较宽的压力区间内能够保持大抽速运行;对于真空机组来说,也能为主泵提供更好的前级泵条件。
  二、防腐,适用于各种介质环境。整体结构简单,可实现整体针对性涂层,实现可有效的防腐。
  三、无污染,回收能力强。非接触双螺杆结构,并且采用夹套水冷却,无需油水等介质参与冷却密封过程,无油无水,因此抽气过程不存在多种形式的污染,对于化工制药中的一些溶剂回收应用来说,更加高效。
  四、自动清洗,可以轻松增加自动清洗装置,在启停阶段可以进行自动清洗,防止使用过程中出现异物残留、积聚导致的卡死、腐蚀等问题,同时可以大大减少真空泵的人工维护工作。
  五、排出污物能力强,非接触结构,使得螺杆转子与螺杆转子,螺杆转子与腔体之间都有间隙,并且气体通道连续、排气路径较短,对于一些颗粒物、液体、以及可凝性介质都具有良好的排出能力,适应性更强。

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